Yarimo'tkazgich uskunalari va toza xonalar uchun 5 o'qli frezalangan keramik izolyatorlar

Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish va toza xona muhitida yuqori ulushli dunyoda har bir komponent mukammal ishlashni ta'minlashi kerak. AtPFT, biz hunarmandchilikka ixtisoslashganmiz5 eksa frezeli keramik izolyatorlaraniqlik va ishonchlilikni qayta belgilaydi. 20+ bilanko'p yillik tajribaga ega bo'lgan bizning yechimlarimiz yarimo'tkazgich uskunalariga bo'lgan talablarni qondirish, issiqlik barqarorligini, elektr izolyatsiyasini va o'ta sezgir sharoitlarda ifloslanishsiz ishlashini ta'minlash uchun ishlab chiqilgan.

Nega bizning 5 o'qli frezalangan keramik izolyatorlarimizni tanlaysiz?

1.Ilg'or ishlab chiqarish imkoniyatlari

Bizning inshootimiz bilan jihozlanganeng zamonaviy 5 eksa CNC frezalash mashinalari, alumina (Al₂O₃), kremniy karbid (SiC) va alyuminiy nitridi (AlN) kabi ilg'or keramikalarni shakllantirishda mikron darajasidagi aniqlikni ta'minlaydi. An'anaviy usullardan farqli o'laroq, 5 o'qli ishlov berish murakkab geometriyalarga imkon beradi - gofretni ko'tarish pinlari, cho'kma kamerasi qismlari va plazmaga chidamli izolyatorlar kabi komponentlar uchun juda muhimdir.

Asosiy xususiyatlar:

•Aniqlik:ASML litografiya asboblari yoki Lam Research etch tizimlariga uzluksiz integratsiya qilish uchun ±0,005 mm bardoshlik.
•Materialning ko'p qirraliligi:99,8% alumina, yuqori toza SiC va boshqa ilg'or keramika uchun optimallashtirilgan.
•Yuzaki ishlov berish:ISO 1-sinf toza xonalarida zarrachalar hosil bo'lishini minimallashtirish uchun Ra <0,2 mkm.

2.Proprietary Process Engineering

Bizning muhandislarimiz rivojlanganyopiq tsiklli jarayonlarni boshqarishishlov berish jarayonida keramika mo'rtligiga moslashadi. Quruq frezalash usullarini real vaqtda tebranishlarni pasaytirish bilan birlashtirib, biz yorilishsiz yuzalarga va komponentlarning ishlash muddatini uzaytiramiz - hatto haddan tashqari issiqlik aylanishida ham (1600 ° C gacha) .

Innovatsiyalar diqqat markazida:

•Stressni bartaraf etish protokollari:CVD ilovalari uchun AlN izolyatorlarida mikro sinishlarni minimallashtiring.
•Ishlov berishdan keyingi muolajalar:HIP (Issiq izostatik presslash) zichlik va korroziyaga chidamliligini oshiradi.

3.Qattiq sifat kafolati

Har bir izolyator o'tadi12 bosqichli tekshirish, shu jumladan:

•CMM (koordinata o'lchash mashinasi)kritik o'lchamlarni tasdiqlash.
•Geliy oqishini tekshirishvakuum mosligi uchun.
•EDS (energiya dispersiv rentgen spektroskopiyasi)moddiy tozaligini tekshirish uchun.

BizningISO 9001/14001 sertifikatlangan tizimxomashyo xarididan (CoorsTek kabi 1-darajali yetkazib beruvchilardan olingan) yakuniy qadoqlashgacha kuzatilishini ta'minlaydi.

Ilovalar: Aniqlik ishlashga mos keladigan joyda

Bizning izolyatorlarimiz ishonchli:

•Etch va joylashtirish vositalari:Applied Materials™ modullarida plazma qarshiligi uchun SiC bilan qoplangan komponentlar.
•Ion implantatorlari:Gofret sirpanishini oldini olish uchun antistatik qoplamali alumina ko'taruvchi pinlar.
•Metrologiya tizimlari:EUV litografiya bosqichlari uchun past issiqlik kengayish izolyatorlari.

Case Study:Etakchi yarimo'tkazgich OEM 300 mm gofretni qayta ishlash bo'yicha raqobatchilar qismlaridan ustun bo'lgan maxsus ishlab chiqilgan SiC dush boshlariga o'tgandan so'ng asboblarning ishlamay qolish vaqtini 40% ga qisqartirdi.

Ishlab chiqarishdan tashqari: hamkorlik yondashuvi

•Tez prototiplash:SAPR fayllaringizni yuboring va 7 kun ichida funktsional prototiplarni oling.
•Saytdagi toza xonani qadoqlash:To'g'ridan-to'g'ri asboblar integratsiyasi uchun ixtiyoriy 10-sinf toza xona yig'ilishi.
•umr bo'yi texnik yordam:Bizning muhandislarimiz komponentlarning ishlash muddatini uzaytirish uchun eskirish tahlili va qayta ishlov berish xizmatlarini taqdim etadilar.